Микропрах от силициев карбид

Микропрахът от силициев карбид се произвежда от силициев карбид чрез оборудване за раздробяване. Въпреки това, в процеса на топене и раздробяване на силициев карбид е неизбежно да се смесят различни примеси. Тези примеси ще окажат голямо влияние върху качеството на обработваните продукти и производителността на полупроводниковите устройства, произведени по време на използването на силиций карбиден прах, увеличавайки процента на дефектни продукти и намалявайки качеството на обработка на повърхността на обработените продукти. Следователно проблемът с отстраняването на примесите в праха от силициев карбид трябва да бъде решен.

Примесите на прах от силициев карбид включват главно въглерод, железен оксид, алуминиев оксид, калциев оксид, магнезиев оксид и силициев диоксид. Когато тези вещества се използват за различни цели в прах от силициев карбид, те имат различни ефекти, сред които Fe2O3 е основният. За да се отстранят примесите в праха от силициев карбид, може да се добави киселина за отстраняване на примесите в производствения процес. Този метод има ниска цена и висока степен на отстраняване на примеси, което е обичано от производителите на прах от силициев карбид.